柔性透明SiOC硬化層/聚酰亞胺薄膜
柔性透明SiOC硬化層/聚酰亞胺薄膜
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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務。
關鍵詞：透明薄膜；硬化涂層；SiOC/CPI；卷對卷濺射；耐彎折；耐刮擦；耐沖擊；蓋板；可折疊顯示器
作為下一代先進顯示技術，柔性顯示具有輕薄、可彎曲、卷曲或折疊等優(yōu)良特性。特別是近些年，可折疊手機因其獨特的結構設計，更是受到人們極大關注。對于商業(yè)化的可折疊顯示器，柔性透明蓋板是關鍵組件之一，被用于替代剛性玻璃基板。由于可折疊顯示器會在較小彎曲半徑或極端曲率下工作，因此柔性透明蓋板必須具有出色的柔韌性，此外還要能耐受外部沖擊和反復刮擦等。目前，無色透明的聚酰亞胺薄膜（CPI）是可折疊顯示器優(yōu)選的蓋板材料，為保護柔性顯示屏幕免受外力沖擊或彎折破壞，CPI薄膜的表面還需要再制備一層硬化涂層（HC）。
近期，研究人員在室溫下利用反應式卷對卷（R2R）濺射系統(tǒng)，在CPI薄膜（由韓國Kolon提供，厚度50μm）上制備了柔性透明的硅氧碳（SiOC）硬化涂層，開發(fā)出一種新的應用于可折疊顯示器的柔性透明蓋板材料。
XPS分析發(fā)現(xiàn)，SiOC硬化涂層被均勻沉積在CPI基板上，制備的SiOC/CPI薄膜表現(xiàn)出良好的光學透明性。不管SiOC硬化涂層的厚度如何，SiOC/CPI薄膜在400~800nm的波長范圍內均顯示出高于87%的高透光率。當涂層厚度為100nm時，薄膜的透光率仍有87.43%的透光率。
所制備的SiOC/CPI薄膜表現(xiàn)出優(yōu)異的機械柔韌性，這是柔性或可折疊顯示器對蓋板的關鍵要求。當SiOC硬化涂層厚度為100和300nm時，透明CPI薄膜在經(jīng)歷靜態(tài)彎折、動態(tài)彎折、扭曲、滾動測試之后，均沒有出現(xiàn)裂紋或表面缺陷。然而，經(jīng)10萬次外部折疊測試后，高應變導致300nm厚的SiOC/CPI薄膜出現(xiàn)了表面裂紋。
研究人員對透明薄膜的耐刮擦刮性能進行了測試，在標準鉛筆硬度試驗（550g）和鋼絲絨刮擦試驗（250g載荷）中，SiOC/CPI透明薄膜展現(xiàn)出良好的耐刮擦特性。
研究人員進一步制備了薄膜電加熱器（TFH）和氧化物半導體薄膜晶體管（TFT），通過施加外部沖擊對比測試了SiOC/CPI透明薄膜對器件的保護能力。測試結果表明，表面有SiOC硬化涂層后的CPI薄膜對TFH、TFT器件均有很好的沖擊保護。
測試結果表明，利用室溫R2R濺射方法成功實現(xiàn)了CPI透明薄膜的表面硬化層制備，SiOC/CPI薄膜具有出色的透明性、柔韌性、耐刮擦性和抗沖擊性等，有望作為透明蓋板材料應用于下一代柔性或可折疊顯示器中。
研究成果發(fā)表在國際學術期刊 Micromachines （2021，12：233），**作者和通訊作者分別是韓國成均館大學的J.H. Park和H.K. Kim。
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上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術背景依托中國科學院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務。
采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環(huán)式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating,激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫(yī)用激光器、光學科研，紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框，工業(yè)燈具照明，廣告機，點餐機，電子白板，安防監(jiān)控等。卷柔新技術擁有自主知識產(chǎn)權的全自動生產(chǎn)線【sol-gel溶膠凝膠法鍍膜線】，這條生產(chǎn)線能夠生產(chǎn)全球先進的減反射玻璃。鍍膜版面可達到2440*3660mm，玻璃厚度從0.3mm到12mm都可以,另外針對PC,PMMA方面的增透膜也具有量產(chǎn)生產(chǎn)能力。ARcoating減反膜基本接近無色,色彩還原性好，并且可以避免了磁控濺射的缺點，鍍完增透膜后玻璃可以做熱彎處理和鋼化處理以及DIP打印處理。這個難度和具有很好的應用性，新意突出，實用性突出，濕法鍍膜在價格方面也均優(yōu)于真空磁控的干法。
卷柔減反射(AR)玻璃的特點:高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(耐候性強于玻璃),玻璃長期使用存放不發(fā)霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產(chǎn)品廣泛應用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機玻璃、節(jié)能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護玻璃等多行業(yè)。
我們的愿景：卷柔讓光學更具價值！
我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術！
我們的目標：以高質量的產(chǎn)品，優(yōu)惠的價格,貼心的服務，為客戶提供優(yōu)良的解決方案。
上海卷柔科技以現(xiàn)代鍍膜技術為核心驅動力，通過鍍膜設備、鍍膜加工、光學鍍膜產(chǎn)品服務于客戶，努力為客戶創(chuàng)造新的利潤空間和競爭優(yōu)勢，為中國的民族制造業(yè)的發(fā)展貢獻力量。
